书目详细信息
： 光刻胶材料评测技术:从酚醛树脂光刻胶到最新的EUV光刻胶
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-122-43800-3:CNY198.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi jpn |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 光刻胶材料评测技术/.(日)关口淳著/.方书农译 |
| 出版发行项： | 北京:,化学工业出版社:,2024 |
| 载体形态项： | 254页:;+图:;+26cm |
| 提要文摘： | 本书从光刻技术基础知识出发，系统介绍了多种类型光刻胶应用工艺、评测技术。具体包括光刻胶涂布、曝光工艺、曝光后烘烤和显影技术，以及g线和i线光刻胶、KrF和ArF光刻胶、ArF浸没式光刻胶、EUV光刻胶等的特征、应用工艺及评测技术，希望对国内的研究人员有很好的启发和指导意义。 |
| 题名主题： | 光致抗蚀剂 |
| 中图分类： | TQ572.4 |
| 个人名称等同： | 关口淳 (日) 著 |
| 个人名称次要： | 方书农 译 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20240530 |