书目详细信息
： MOS集成电路工艺规范
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | ￥0.80 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 310000 |
| 题名责任者项： | MOS集成电路工艺规范/.上海元件五厂,上海半导体研究所编 |
| 出版发行项： | 上海:,上海科学技术文献出版社:,1980 |
| 载体形态项： | 196页:;+21cm |
| 一般附注： | 书名原文:Silicon wafer fabrication manual v.2: MOS silicon wafer processing |
| 并列题名： | Silicon wafer fabrication manual v.2: MOS silicon wafer processing eng |
| 题名主题： | MOS集成电路 规范 |
| 中图分类： | TN432-65 |
| 团体名称等同： | 上海元件五厂 译 |
| 团体名称等同： | 上海半导体研究所 译 |
| 记录来源： | CN 上海图书馆 |
| 记录来源： | CN NLC |